
薄膜應力及基底翹曲測試設(shè)備
FSM128係列設備(bèi),裝備有光學掃描係統。
薄膜應力及基底翹曲測試設(shè)備
FSM 500TC 200mm 高溫應力測試係(xì)統可以幫(bāng)助研發和工藝工程師(shī)評估薄膜的熱(rè)力(lì)學性.....
晶圓厚度測量係統
FSM413回波探頭傳感器使用具有紅外(IR)幹涉測量技術
Line Card
全自動紫外線芯(xīn)片應(yīng)力測量儀
全自動紫外線芯片(piàn)應(yīng)力測量儀(yí)一台全自動紫外線——可見光RAMan儀器,主要用與測量(liàng)芯(xīn)片應力。
紅外幹涉測量設備
紅外幹涉(shè)測量技術, 非接觸式測量
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