更新時（shí）間：2020-08-12
產品品牌：Semiconsoft
產品型號：MProbe UVVisSR
MProbe UVVisSR薄膜測厚儀（yí）大部分透光或弱吸收的薄膜均（jun1）可以快速且（qiě）穩定（dìng）的被測量（liàng）。比如：氧（yǎng）化物，氮化物，光刻膠，高分子聚合物，半導體(矽，單晶（jīng）矽，多晶（jīng）矽)，半導體化（huà）合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬塗層(碳化矽，類金剛石（shí）炭)，聚合（hé）物塗層(聚甲基丙烯酸甲酯，聚酰胺)
該機（jī）大（dà）部分透光或弱吸（xī）收（shōu）的（de）薄膜均可以快速且穩定的被測量。比如：氧化物，氮化物，光刻膠，高分子聚合物（wù），半導體(矽，單晶矽，多晶矽)，半（bàn）導體化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬塗層(碳化矽，類金剛石炭)，聚合物塗層(聚甲基丙烯酸甲（jiǎ）酯，聚酰胺)
測量範圍: 1 nm -50um
波長範圍: 200 nm -1000 nm
MProbe UVVisSR薄膜測厚儀適用於實時在線測量，多層（céng）測量，非（fēi）均勻塗層, 軟件包含（hán）大量（liàng）材料庫(超過500材料（liào）)，新材料可以很容易的添（tiān）加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。
測量指標：薄膜厚度，光學常數
界（jiè）麵（miàn）友好: 一鍵式（shì）測量和分析。
實用的（de）工具：曲線擬合（hé）和（hé）靈敏度分析，背景和變形校正，連接層和材（cái）料，多樣（yàng）品測（cè）量，動態測（cè）量和產線批量處理。
（MProble NIR薄膜測厚儀係統示 ）
案例（lì）1，73nm SiN氮（dàn）化矽薄膜的測量
矽晶圓反（fǎn）射率，測量時間10ms
使用Tauc-Lorentz模型，測量SiN薄膜的n和k值
電話：86-021-37018108
傳（chuán）真：86-021-57656381
郵箱：info@qianmengwl.cn
地址（zhǐ）：上海市鬆江區莘磚公路518號鬆江高科技園（yuán）區28幢（zhuàng）301室
