更（gèng）新時間：2020-12-14
產品品牌：Frontier Semiconductor
產品型（xíng）號：薄膜應力和矽片翹曲檢測（cè）儀
基於Optilever激光掃描技術。
使用應力控製，避免薄膜分層，形成凹凸狀。
光學設計減少圖形襯底對激光的幹涉。 在TSV, 半導體以及LED工藝（yì）上控製基底彎度。
在平板顯示行業，控製玻璃（lí）的（de）平整度
LED行業中, 可（kě）分析藍（lán）寶石或碳化矽裸片（piàn）的BOW/ WARP, 以及LED製程中（zhōng）不同薄膜造成的應力
在20米曲（qǔ）率的標準片（piàn）上，重複性少於0.01公差。
雙波長激光設計, 如某一波長激光在樣本（běn）反射度不足（zú），係（xì）統會自動使用另一波長激（jī）光進行（háng）掃瞄，滿足不同材料的應用（yòng）
全自動平台，可以進行2D及3D掃瞄
相同產品中提供數據點：每英（yīng）寸可測1000點（diǎn），平均每晶圓超過32線。
提供3D應力分布圖。
擁有三維應力分布圖和大量的（de）數據點使用戶能夠檢測局部的應力變化。
500 及（jí） 900°C高溫或-50°C低溫型號可選
熱解析光譜分（fèn）析可選。
樣（yàng）品台可通用於（yú）2至（zhì）8寸基底, 另備有可容納450mm直徑或370 X 470mm樣本的型號
多種型號以供選擇:
手（shǒu）動上下片)
自動上下片(Cassette to cassette, C2C)
可添加並整（zhěng）合於多腔式集束型架構設備(cluster tool)
電話：86-021-37018108
傳（chuán）真：86-021-57656381
郵箱：info@qianmengwl.cn
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