隨著太（tài）陽能電池工業的快速發展，多種光伏技術湧現市場。Bruker的探針（zhēn）式表麵輪（lún）廓（kuò）儀（yí）Dektak XT可為太陽能電池領域研（yán）究的科學家提供快速多種（zhǒng）檢測方案，Dektak XT探針式表（biǎo）麵輪廓儀通過定性、定量或檢測多道加工步驟（zhòu），幫（bāng）助太陽能電池製（zhì）造商提能、降低成本，加速太（tài）陽能電池的商業（yè）化。

1. Dektak XT測試太陽能電池薄膜厚度
    理想的（de）太陽能電（diàn）池薄膜（mó）厚度是製造出太陽能（néng）電池的基本條件。透明薄膜還是（shì）不透明薄膜，隻要構建出基底與薄膜的邊界，Dektak XT均能在幾秒之內快（kuài）速準確的完成薄（báo）膜厚度的測試。

圖1 太陽能電池厚度測試

2. Dektak XT表（biǎo）征太陽能電（diàn）池的表麵粗糙度

   粗糙度是（shì）評價太陽電電池能效的重要指（zhǐ）標之（zhī）一，太（tài）陽能電池表麵太光滑影響光照的吸收，太粗糙大量的散射同（tóng）樣會（huì）影響光的吸收，因此，需要對太陽能電池表麵粗糙度進行監測。探針式表（biǎo）麵輪廓儀（yí）亞納米級（jí）別的分辨率（lǜ）能（néng）夠（gòu）快速檢測太陽能電池二維（wéi）及三維（wéi）表麵（miàn）的粗糙度。

圖2 太陽能電池表麵二維（wéi）粗糙度

圖（tú）3 太陽能電池表麵三維粗糙（cāo）度

3. Dektak XT檢測太陽能（néng）電池表麵軌跡及柵線寬度

   為合適的麵板及（jí）小麵積無光伏材料覆（fù）蓋，監控銀線質量及傳導軌跡。Dektak XT憑借強大的軟（ruǎn）件（jiàn）分割功能，可自動計算出柵線的（de）深度、寬度、體積、底麵與基（jī）底（dǐ）的粗糙度，對比數據庫，可快速篩選不合格產品（pǐn）。同時（shí）幫助快速得（dé）到柵線正確的位置、寬度、深度，從而減少（shǎo）油墨等昂貴材（cái）料的浪費，降低成本。

圖4 太陽（yáng）能電池柵線的多種分析（xī）

4. Dektak XT優化與控製太陽能電池的生產過程

    Dektak XT用於控製和太陽能電池的製造過程。Dektak XT憑借其200mm的（de）掃描長度，能夠快（kuài）速掃描得出8寸晶圓基（jī）底各位置的高度，軟（ruǎn）件自動快速計算刻蝕與沉積的速率，得到理想的薄膜厚度、表麵均（jun1）勻性（xìng）及加工次數。

圖5 8寸晶圓（yuán）表麵各（gè）位置（zhì）高度

結論：

Dektak XT能夠快速的表征太陽能電池表麵信（xìn）息，幫助得到高（gāo）能、低成本的太陽能電池產品。其主要優勢有：

1. 對薄膜（mó）材質沒有要求（qiú），透明、不透明均可，不（bú）需製樣；

2. 亞納米級（jí）別的縱向分辨率1Å；

3. 軟件分析功能；

4. 200mm超長的掃描長度；

5. 業內（nèi）的台階重複性，4Å。