原理
照明光束經半反半透分光鏡分（fèn）成兩束光，分別投射到樣品表麵和參考鏡表麵。從兩個表麵反（fǎn）射的兩束光相互幹涉，在CCD相機感（gǎn）光麵會觀察（chá）到明暗相間的幹涉條紋。幹涉條紋的亮度（dù）取決於（yú）兩束光的光程差，根據（jù）白光幹涉條紋（wén）明暗度以及幹涉條紋出現的位置計算出被測樣品的相對高度，從而得到樣品表麵（miàn）的三維尺寸信息。如下圖所示。

白光幹涉儀的優點
非接觸式測量，不損（sǔn）傷樣品；
測試效率高（gāo），幾秒鍾成像，自動分析結果；
高度方向分辨率高，在不同物鏡下均可達0.1nm，實現亞納米（mǐ）級的測量（liàng）；
優異的重複性；
分析功能強大，簡便易用；
優（yōu）異的擴（kuò）展性。

白光幹涉儀的作用
可以進行膜厚（hòu）測量，溝槽測（cè）量，翹曲分析，表麵粗糙度測量，表麵高（gāo）度及盲孔測量，樣品表麵圖案尺寸測量等。廣泛應用於半導體，光學器件，太陽（yáng）能電池，MEMS，生命科學，材（cái）料（liào）學（xué）等行業。

布魯克白光幹涉（shè）儀介紹
WYKO白光幹涉儀誕生於（yú）1982年，2010年加入（rù）布魯克，與布魯克強（qiáng）強聯合，經（jīng）過40多年技術不斷發展及革（gé）新，布魯克白光幹涉儀已經逐步在（zài）行業中內有良好口碑。且：
3項 美國R&D 100 大獎
6項 Photonics Circle of Excellence Awards大獎
 

根（gēn）據不同的應用場景及樣品情況（kuàng），布魯克有以下等多個型號（hào）供用戶選擇：

 
ContourX-100                                ContourX-200
ContourX-500                             ContourX-1000   
NPFLEX-1000                                    ContourSP

應用及效果（guǒ）
布魯（lǔ）克（kè）白光幹涉儀的應用及效果

表麵粗糙度（dù）測量

表麵高度測量

表麵高度（dù）及盲孔（kǒng）測量

溝槽自動分析

三維實時測量

表麵翹（qiào）曲測（cè）量

軟件界麵分析

        布魯克白光幹涉儀因其操作簡便，分辨率及重複性良好，軟件分析功能強大，且售後服務專業及時（shí）等優點，從而成為形貌（mào）測量工程（chéng）師的選（xuǎn）擇，並被廣泛（fàn）運用於半導（dǎo）體，光學器件，太（tài）陽（yáng）能，微電子，材料學等各個行業。