1968年台階儀Dektak Ⅰ麵世以來，迄今已有50多年的發展曆程。通過（guò）整合技術，突破創新，Dektak係列台階儀已經來到了第十代，目前我（wǒ）們主要有兩種型號:桌麵式（shì）DektakXT（圖（tú）1），樣品兼容可到8寸；另外一款是集成（chéng）了防震台一（yī）體（tǐ）化的（de）落地式DektakXTL，它的兼容樣（yàng）品可以達到12寸（圖2）。布（bù）魯克第十代Dektak 產品在過去（qù）五十（shí）年不斷的技術創新，得到眾多使用客（kè）戶的認可。

                  圖1                                                                                         圖2

台階高度重現性低（dī）於 4 Å

       Dektak XT 是使用single-arch 設計的探針輪廓儀， single-arch 設計及智能電子器件，大大改善了設（shè）備（bèi）穩定（dìng）性，進一步提高防震性能。Dektak XT在測量台階高度重（chóng）複性方麵具有優異的表現，台階高度重複性（xìng）可低於4Å。使用 single-arch 結構比原先的（de）懸臂梁設計更（gèng）加穩固，降低了對不利環境條（tiáo）件的敏感性（xìng），如聲（shēng）音和震動噪音。

方便（biàn）的更換（huàn）探針技術讓（ràng）一切變得輕鬆

        對多用戶儀器而言，能（néng）快（kuài）速輕鬆更換探針以適應不同應用是必要的。Dektak台階儀的轉接頭和探針通（tōng）過強磁吸附進行連接，在探針更換工具的配合下，更換（huàn）探針簡單、方便、易操作（圖3）。DektakXT 新的針尖自動校（xiào）準，消除任何潛藏的針尖更換/校準隱患。這一（yī）技術讓（ràng）其他困難並耗時的任務變得輕（qīng）鬆且快速。為盡（jìn）量滿足使用的要求，Bruker 提供（gòng）了（le）範圍廣泛的標準和客戶定製探針規格，包括用於深（shēn）溝渠測量（liàng）的高徑比針尖。

圖（tú）3

LVDT:主流的微位移傳感技術廣泛應用（yòng）於航空航天等領域

      作（zuò）為探針式表麵輪廓儀核（hé）心的部件—傳（chuán）感器，Dektak XT采用LVDT傳感器原理，即Linear Variable Differential Transformer線性可（kě）變差動變壓器（圖4），其優勢包括：無摩擦測量、延長機械壽（shòu）命、提高分辨率（lǜ）、零位可重複性、軸向、堅固耐用、環境適應性、輸入/輸出隔離。

圖4

帶機械臂的全自動傳片（piàn）台階儀

       全自（zì）動型台階儀（yí）（cassette-to-cassette台階儀），將Bruker DektakXTL台（tái）階儀係統和機械傳送臂相結合（圖5），實現了全自動上下片，通過圖形識別等功能實（shí）現自動（dòng）準確（què）定位（樣品定位精度在±5微米），自動檢測，數據自（zì）動輸出和上傳，減少人工成（chéng）本（běn）和人員誤差，可以實現75mm到300mm晶圓檢（jiǎn）測全自動化。為半導體行業在工（gōng）藝開發，質量保證與質量控製應用（yòng）方麵進行了優化。

圖5

       台階儀主要（yào）用（yòng）於（yú）材料表麵的（de）2D，3D測量，可以測試台階（jiē）高度，表麵（miàn）粗糙度；同時也適（shì）合材料表麵溝槽深度的測試（shì）；能夠（gòu）在微（wēi）電子，半導體及化合物半導體，太陽能、超高亮度發光二管（LED）、OLED、ITO、微流（liú）控、醫（yī）學、材料（liào）科學等行業實（shí）現納米級表麵（miàn）形貌測量。Dektak台階（jiē）儀測量薄膜材料可以達到埃級（jí）重現性和1nm-1mm的測量範圍。

圖6

圖7